近日，由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國電子學(xué)會(huì)傳感與微系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主辦，北京賽微電子股份有限公司協(xié)辦，西部科學(xué)城重慶高新區(qū)管委會(huì)、上海龍媒商務(wù)咨詢有限公司、上海芯奧會(huì)務(wù)服務(wù)有限公司承辦的“2023(十五屆)傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國際研討會(huì)(暨成果展)”在重慶市召開。

　　本次大會(huì)以“研產(chǎn)融合 創(chuàng)新應(yīng)用”為主題，由主論壇和兩場專題論壇構(gòu)成，來自傳感器與MEMS領(lǐng)域的知名專家、學(xué)者、業(yè)界精英、產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)代表齊聚，就產(chǎn)品設(shè)計(jì)、技術(shù)、制造與應(yīng)用展開了激烈的分享與探討。賽微電子控股子公司賽萊克斯北京首席技術(shù)官李云飛博士在會(huì)上發(fā)表了《全球化布局的MEMS先進(jìn)代工龍頭》的主題演講，介紹了賽微電子在MEMS領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)及工藝積累。根據(jù)國際知名半導(dǎo)體分析機(jī)構(gòu)Yole Development及Gartner預(yù)測，全球 MEMS行業(yè)市場持續(xù)增長，且高于同期半導(dǎo)體行業(yè)整體增速，MEMS技術(shù)具備廣闊的市場潛力。

　　基于20多年的工藝開發(fā)及制造實(shí)踐積累，賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems通過對MEMS產(chǎn)品工藝制造技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)性分析、歸類，將各產(chǎn)品關(guān)鍵制造工藝進(jìn)行萃取并加以對比分析，進(jìn)一步得到共性關(guān)鍵工藝。再對這些工藝進(jìn)行聚焦研發(fā)、IP布署，逐漸建成模塊化的大規(guī)模MEMS工藝制造體系。瑞典Silex目前擁有兩條成熟運(yùn)營、業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS產(chǎn)線。根據(jù)Yole Development統(tǒng)計(jì)，2019年-2022年賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems AB 在全球MEMS晶圓代工排名中均位居第一;2022年，第二至第五名分別為TELEDYNE MEMS、臺(tái)積電(TSMC)、X-FAB、中芯集成(SMEC)。2022年，在全球MEMS廠商綜合排名中，Silex排名第26位。

　　本次會(huì)議中，賽微電子展出了瑞典Silex(FAB1&2)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：

　　【RF MEMS開關(guān)】RF MEMS 開關(guān)是電子系統(tǒng)最基本的組成部分之一， 電子MEMS開關(guān)是電子系統(tǒng)的革新者，服務(wù)于多個(gè)行業(yè)，包括下一代5G移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)，工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場，電池管理，智能家居，電子汽車和醫(yī)療儀器。MEMS開關(guān)是一種低損耗，高功率開關(guān)，僅需幾皮安即可工作，其運(yùn)行速度比典型的機(jī)械開關(guān)快1000倍。

　　【MEMS諧振器】MEMS諧振器用于產(chǎn)生高穩(wěn)定基準(zhǔn)頻率的計(jì)時(shí)設(shè)備，該基準(zhǔn)頻率可以測量時(shí)間。這些參考頻率可用于對電子系統(tǒng)進(jìn)行排序，管理數(shù)據(jù)傳輸，定義射頻頻率并測量經(jīng)過的時(shí)間。MEMS振蕩器具有更好的抵抗振動(dòng)和機(jī)械沖擊的彈性，并具有相對于溫度變化的可靠性。

　　【MEMS硅光子】硅光子技術(shù)是在硅基材料的平面排列中引導(dǎo)光的方法，主要用于創(chuàng)建用于光纖電信的發(fā)送器和接收器。由于能將更多的傳輸信息壓縮到給定的帶寬，給定的占位以及給定的成本，硅光子學(xué)有望徹底改變光通信市場。

　　【基于MEMS的芯片實(shí)驗(yàn)室】該芯片用于疾病的快速早期檢測。它是第一個(gè)提供自動(dòng)操作的完全集成的分子診斷系統(tǒng)，將臨床樣品制備，核酸提取以及微流體實(shí)時(shí)聚合酶鏈反應(yīng)(PCR)擴(kuò)增和檢測功能整合到一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)中。它可以同時(shí)滿足批處理工作流和按需測試的要求，以最大程度地提高實(shí)驗(yàn)室效率和靈活性，并且該系統(tǒng)目前已在與新冠狀病毒的戰(zhàn)斗中部署。

　　【MEMS醫(yī)療壓力傳感器】MEMS技術(shù)是推動(dòng)人體內(nèi)部使用的未來醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵推動(dòng)力。該樣本顯示了世界上最小的壓力傳感器，該傳感器用于外科導(dǎo)管上以局部測量人心臟小冠狀動(dòng)脈中的血壓。

　　【MEMS慣性傳感器】MEMS傳感器使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型機(jī)械和機(jī)電元件。與實(shí)現(xiàn)相同功能的早期方法相比，MEMS傳感器體積更小，成本更低，功耗更低，靈敏度和精度更高。MEMS器件還受益于半導(dǎo)體工藝技術(shù)固有的嚴(yán)格公差，因而它們具有極好的精度和可重復(fù)性。

　　賽萊克斯北京(FAB3)由賽微電子和國家大基金共同投資，是北京市集成電路產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)項(xiàng)目，由國家專家牽頭組織工藝技術(shù)開發(fā)，廣泛吸納來自全球范圍內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端人才，共同致力加快國產(chǎn)MEMS傳感器產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，推動(dòng)中國MEMS技術(shù)發(fā)展和進(jìn)步。近年來，北京FAB3已實(shí)現(xiàn)硅麥克風(fēng)、電子煙開關(guān)、BAW 濾波器、微振鏡的量產(chǎn)，正在盡快推進(jìn)慣性加速度計(jì)、IMU、硅光子、微流控(含基因測序)、氣體、壓力、溫濕度、振蕩器等 MEMS傳感器件的風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)及量產(chǎn)進(jìn)程。

　　本次會(huì)議中，賽微電子展出了賽萊克斯北京(FAB3)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：

　　【BAW濾波器】濾波器幫助通信設(shè)備在不同頻段之間進(jìn)行切換，過濾掉不需要的信號(hào)。作為一種先進(jìn)的濾波器，BAW濾波器應(yīng)用于5G智能手機(jī)、基站、物聯(lián)網(wǎng)終端等高頻通信場景。BAW濾波器，帶內(nèi)最低插損可達(dá)1.5dB以下，帶外抑制超過30dB。信號(hào)損耗小，設(shè)備能量消耗低，能夠提高信號(hào)的接收靈敏度并增加設(shè)備通信距離;干擾信號(hào)過濾能力強(qiáng)，增強(qiáng)用戶體驗(yàn)。

　　【麥克風(fēng)產(chǎn)品】相較于普通麥克風(fēng)，硅麥克風(fēng)具有很多優(yōu)勢。小尺寸振膜的硅麥克風(fēng)產(chǎn)品，其特殊的結(jié)構(gòu)能夠有效提升硅麥耐強(qiáng)聲壓和防塵效果，該結(jié)構(gòu)產(chǎn)品信噪比大于62 dB，頻響曲線低頻平坦，在同尺寸硅麥中性能較為突出。在計(jì)算機(jī)通訊行業(yè)，可用于手機(jī)、TWS耳機(jī)、筆記本電腦等;在生物醫(yī)學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，可應(yīng)用于助聽器、電子耳等。

　　【加速度計(jì)】三軸加速度計(jì)具有超低功耗、高靈敏度、抗應(yīng)力性能及零漂更強(qiáng)更穩(wěn)定的優(yōu)異特點(diǎn), 該產(chǎn)品可以提供mg級(jí)的超高分辨率，在正常行走和跑步都可以達(dá)到95%的計(jì)步精度，可廣泛應(yīng)用于穿戴設(shè)備，平板，游戲手柄，遙控器等多種場景。

　　【氣體傳感器】基于MEMS工藝制造氣體傳感器芯片，采用懸膜式結(jié)構(gòu), 集成了微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測氣敏材料的電阻變化?？蓮V泛應(yīng)用于家用環(huán)境監(jiān)測、室內(nèi)新風(fēng)系統(tǒng)、智能家電產(chǎn)品、車內(nèi)環(huán)境感知等領(lǐng)域。

　　【MEMS 微振鏡(電磁驅(qū)動(dòng))】MEMS 微振鏡用于電動(dòng)車激光雷達(dá)2D掃描，已通過車載產(chǎn)品驅(qū)動(dòng)測試以及可靠性驗(yàn)證，在申請車載 IATF16969 質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證中，生產(chǎn)制造過程均按照VDA6.3標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施與審核。該產(chǎn)品經(jīng)過離子注入，coil plating，深硅刻蝕形成suspension cantilever，臨時(shí)鍵合與解鍵合等工藝制作而成，現(xiàn)已進(jìn)入量產(chǎn)爬坡階段。

　　賽微電子是全球領(lǐng)先、國際化運(yùn)營的高端集成電路芯片晶圓制造廠商，也是國內(nèi)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和掌握核心半導(dǎo)體制造技術(shù)的特色工藝專業(yè)芯片晶圓制造商。在MEMS傳感器應(yīng)用前景良好和國產(chǎn)化進(jìn)程提速背景下，公司同時(shí)在境內(nèi)外布局中試線及量產(chǎn)線，以同時(shí)滿足境內(nèi)外客戶的不同需求，致力于形成可支持“內(nèi)循環(huán)”、兼顧“雙循環(huán)”的代工服務(wù)體系。與此同時(shí)，公司正在打造先進(jìn)的晶圓級(jí)封裝測試能力，致力于為客戶提供從工藝開發(fā)、晶圓制造到封裝測試的一站式系統(tǒng)化高端制造服務(wù)，努力發(fā)展成一家國際化經(jīng)營的知名半導(dǎo)體制造領(lǐng)軍企業(yè)。