2022年4月，北京賽微電子股份有限公司(以下簡稱“公司”)控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(以下簡稱“賽萊克斯北京”)與某國際知名激光雷達廠商及其子公司(以下簡稱“合作客戶”)簽署《戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》，開展面向汽車雷達MEMS微鏡產(chǎn)品的長期戰(zhàn)略合作，各方將開展全面技術(shù)合作，賽萊克斯北京將依據(jù)合作客戶提供的工藝需求，致力于建立并維護MEMS微鏡產(chǎn)品的8英寸晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線，并按合作客戶產(chǎn)能需求提供配套的、穩(wěn)定的產(chǎn)能。

　　MEMS微鏡結(jié)構(gòu)示意

　　MEMS微鏡(也被稱為“MEMS微振鏡”、“MEMS掃描鏡”)是指采用光學(xué)MEMS技術(shù)制造的，把微光反射鏡與MEMS驅(qū)動器集成在一起的光學(xué)MEMS器件。MEMS微鏡的運動方式包括平動和扭轉(zhuǎn)兩種機械運動。近年來，隨著智能化、電動化、網(wǎng)聯(lián)化的加速發(fā)展，汽車傳感器市場持續(xù)擴大，且基于MEMS等半導(dǎo)體制造工藝生產(chǎn)的先進傳感器正在逐步替代部分傳統(tǒng)類型傳感器。以汽車自動駕駛功能為例，激光雷達是其中用到的眾多傳感器之一，按照激光掃描方式可以分為機械、混合和固態(tài)三種類型。隨著自動駕駛技術(shù)的不斷發(fā)展，小型化、低成本、高精度、固態(tài)化激光雷達逐漸出現(xiàn)并得到應(yīng)用。MEMS激光雷達的核心光束操縱元件為MEMS微鏡，可通過半導(dǎo)體工藝進行集成化生產(chǎn)，極大地減少了激光雷達的體積且降低了成本，在車規(guī)級批量應(yīng)用中存在優(yōu)勢。

　　MEMS微鏡應(yīng)用示意

　　該合作客戶在智能激光雷達系統(tǒng)方面的技術(shù)及業(yè)務(wù)積累國際領(lǐng)先，相關(guān)產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于機器人和汽車領(lǐng)域，且已進入車載前裝市場，涉及幾十余款車型。

　　本次與該客戶的戰(zhàn)略合作，是賽微電子積極與全球各領(lǐng)域MEMS設(shè)計廠商開展合作的一個縮影，也是作為全球晶圓代工生產(chǎn)新勢力在長期發(fā)展過程中的必經(jīng)階段，其中從工藝開發(fā)到產(chǎn)品驗證、批量生產(chǎn)均存在各種挑戰(zhàn)，需要合作各方的共同努力。

　　賽微電子全球業(yè)務(wù)布局

　　賽微電子是全球領(lǐng)先、國際化運營的高端集成電路晶圓代工生產(chǎn)商，也是國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和掌握核心半導(dǎo)體制造技術(shù)的特色工藝專業(yè)晶圓制造商。公司在國內(nèi)外擁有多座中試平臺及量產(chǎn)工廠，業(yè)務(wù)遍及全球，服務(wù)客戶包括國際知名的DNA/RNA測序儀、光刻機、計算機網(wǎng)絡(luò)及系統(tǒng)、硅光子、紅外、可穿戴設(shè)備、新型醫(yī)療設(shè)備、汽車電子等巨頭廠商以及細分行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，涉及產(chǎn)品范圍覆蓋了通訊、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等諸多領(lǐng)域。公司同時正在打造先進的晶圓級封裝測試能力，致力于為客戶提供從工藝開發(fā)、晶圓制造到封裝測試的系統(tǒng)化高端制造服務(wù)，努力發(fā)展成一家國際化經(jīng)營的知名半導(dǎo)體制造領(lǐng)軍企業(yè)。

　　賽微電子正努力把核心主業(yè)傳感器和芯片工藝制造的業(yè)務(wù)范圍向汽車電子領(lǐng)域拓展，包括正在推進收購德國 Elmos Semiconductor SE位于德國北萊茵威斯特法倫州多特蒙德市(Dortmund, North Rhine Westphalia, Germany)的汽車芯片制造產(chǎn)線相關(guān)資產(chǎn)，該交易目前正在申請德國政府的批準。

　　本次賽萊克斯北京與該合作客戶開展戰(zhàn)略合作，是賽微電子代工產(chǎn)業(yè)布局中的重要一步，有利于賽微電子積極把握全球半導(dǎo)體特色工藝制造產(chǎn)業(yè)，尤其是全球汽車芯片、MEMS芯片制造需求快速增長的發(fā)展機遇，從而促進核心業(yè)務(wù)的進一步發(fā)展。

　　賽萊克斯北京8英寸MEMS國際代工線

　　賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司成立于2015年12月，由賽微電子與國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金共同出資建立，投資25.97億元在北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)建設(shè)8英寸MEMS國際代工線，歷經(jīng)數(shù)年準備后于2021年6月啟動正式生產(chǎn)，后持續(xù)推動MEMS硅麥克風(fēng)、慣性器件、BAW(含F(xiàn)BAR)濾波器、振鏡、氣體、微流控、硅揚聲器等不同類別、不同型號產(chǎn)品的工藝開發(fā)及產(chǎn)品驗證。近年來，賽萊克斯北京持續(xù)吸引國內(nèi)外的行業(yè)專家、技術(shù)人才，在不利的國際環(huán)境下，通過艱苦奮斗，打造了一支擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和掌握MEMS核心技術(shù)的工藝團隊，為下游尤其是國內(nèi)MEMS芯片設(shè)計公司提供業(yè)界領(lǐng)先、自主可控的晶圓制造平臺，目標是通過長期努力，致力解決本土MEMS產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。