近日，由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)電子學(xué)會(huì)傳感與微系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主辦，北京賽微電子股份有限公司協(xié)辦,由廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司、上海龍媒商務(wù)咨詢有限公司承辦的“2021(十三屆)傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國(guó)際研討會(huì)(暨成果展)”在中國(guó)廈門召開。

　　本次論壇邀請(qǐng)傳感器與MEMS領(lǐng)域國(guó)際知名專家以及業(yè)界頂尖企業(yè)、政府機(jī)構(gòu)、高校、科、研、院所的重要嘉賓發(fā)表主題演講，就業(yè)內(nèi)最前沿技術(shù)和中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展機(jī)遇，共同探討交流。

　　賽微電子董事長(zhǎng)楊云春先生在會(huì)上發(fā)表“建設(shè)全球化布局的MEMS先進(jìn)代工服務(wù)平臺(tái)”為主題的演講。在他看來，目前各類MEMS器件(傳感器、驅(qū)動(dòng)器等)已在現(xiàn)代社會(huì)得到廣泛應(yīng)用，從傳統(tǒng)的航空導(dǎo)航、工業(yè)控制、生物醫(yī)療、礦源勘探、消費(fèi)電子、安防監(jiān)控，到目前火爆的5G&6G高頻通信、人工智能、無人駕駛、萬物互聯(lián)(IOT)，運(yùn)用MEMS工藝制造與革命的器件與產(chǎn)品種類有望迅速擴(kuò)充，同時(shí)也產(chǎn)生了一一對(duì)應(yīng)的“定制化”工藝制造技術(shù)，對(duì)MEMS芯片代工制造企業(yè)提出了新的挑戰(zhàn)。

　　基于20年的工藝開發(fā)及制造實(shí)踐積累，賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems通過對(duì)MEMS產(chǎn)品工藝制造技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)性分析、歸類，將各產(chǎn)品關(guān)鍵制造工藝進(jìn)行萃取并加以對(duì)比分析，進(jìn)一步得到共性關(guān)鍵工藝。再對(duì)這些工藝進(jìn)行聚焦研發(fā)、IP布署，逐漸建成模塊化的大規(guī)模MEMS工藝制造體系。該等舉措成效顯著：2019-2020年賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems AB在全球MEMS晶圓代工排名中均位居第一。

　　本次會(huì)議中，賽微電子展出了瑞典Silex(FAB1&2)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：

　　【 RF MEMS 開關(guān)】RF MEMS 開關(guān)是電子系統(tǒng)最基本的組成部分之一， 電子MEMS開關(guān)是電子系統(tǒng)的革新者，服務(wù)于多個(gè)行業(yè)，包括下一代5G移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)，工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)，電池管理，智能家居，電子汽車和醫(yī)療儀器。 MEMS開關(guān)是一種低損耗，高功率開關(guān)，僅需幾皮安即可工作，其運(yùn)行速度比典型的機(jī)械開關(guān)快1000倍。

　　【 MEMS 諧振器】MEMS諧振器用于產(chǎn)生高穩(wěn)定基準(zhǔn)頻率的計(jì)時(shí)設(shè)備，該基準(zhǔn)頻率可以測(cè)量時(shí)間。這些參考頻率可用于對(duì)電子系統(tǒng)進(jìn)行排序，管理數(shù)據(jù)傳輸，定義射頻頻率并測(cè)量經(jīng)過的時(shí)間。 MEMS振蕩器具有更好的抵抗振動(dòng)和機(jī)械沖擊的彈性，并具有相對(duì)于溫度變化的可靠性。

　　【 MEMS 硅光子】硅光子技術(shù)是在硅基材料的平面排列中引導(dǎo)光的方法，主要用于創(chuàng)建用于光纖電信的發(fā)送器和接收器。由于能將更多的傳輸信息壓縮到給定的帶寬，給定的占位以及給定的成本，硅光子學(xué)有望徹底改變光通信市場(chǎng)。

　　【基于MEMS的芯片實(shí)驗(yàn)室】該芯片用于疾病的快速早期檢測(cè)。它是第一個(gè)提供自動(dòng)操作的完全集成的分子診斷系統(tǒng)，將臨床樣品制備，核酸提取以及微流體實(shí)時(shí)聚合酶鏈反應(yīng)(PCR)擴(kuò)增和檢測(cè)功能整合到一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)中。它可以同時(shí)滿足批處理工作流和按需測(cè)試的要求，以最大程度地提高實(shí)驗(yàn)室效率和靈活性，并且該系統(tǒng)目前已在與新冠狀病毒的戰(zhàn)斗中部署。

　　【 MEMS 醫(yī)療壓力傳感器】MEMS技術(shù)是推動(dòng)人體內(nèi)部使用的未來醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵推動(dòng)力。該樣本顯示了世界上最小的壓力傳感器，該傳感器用于外科導(dǎo)管上以局部測(cè)量人心臟小冠狀動(dòng)脈中的血壓。

　　賽萊克斯北京8英寸MEMS國(guó)際代工項(xiàng)目是北京市集成電路產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)項(xiàng)目，公司與全球最大的純MEMS代工企業(yè)瑞典Silex Microsystem是兄弟公司，依托于瑞典賽萊克斯近20年的技術(shù)積淀和MEMS量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，由國(guó)家專家牽頭組織工藝技術(shù)開發(fā)，廣泛吸納來自全球范圍內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端人才，共同致力于MEMS國(guó)際代工線建設(shè)，加快國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，推動(dòng)中國(guó)MEMS技術(shù)發(fā)展和進(jìn)步。

　　本次會(huì)議中，賽微電子展出了賽萊克斯北京(FAB3)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：

　　【1701B-振膜在上MEMS結(jié)構(gòu)】新型結(jié)構(gòu)1701B產(chǎn)品可運(yùn)用于換彈式或注入式電子煙產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)開關(guān)情況下的大電容變化量，提升MEMS控制開關(guān)的容錯(cuò)能力，可有效解決電子煙自啟動(dòng)的行業(yè)痛點(diǎn)，同時(shí)解決電子煙因使用過程種產(chǎn)生的漏油而導(dǎo)致的電子煙自燃問題。

　　【2701-振膜在下MEMS結(jié)構(gòu)】特殊振膜結(jié)構(gòu)2701產(chǎn)品運(yùn)用于高端TWS ANC產(chǎn)品，突破SNR> 64 dB，有效提升市面上背進(jìn)聲硅麥耐強(qiáng)聲壓和防塵效果;實(shí)現(xiàn)極佳的低頻相位一致性，在20Hz時(shí)相位一致性≤3°。

　　【新品-振膜在下MEMS結(jié)構(gòu)】一款高性能消費(fèi)類TWS耳機(jī)麥克風(fēng)芯片。

　　2016年，賽微電子以7.5億元人民幣的價(jià)格完成對(duì)Silex的控股收購后進(jìn)行了良好的整合，Silex成為賽微電子全資子公司，同時(shí)也是賽微電子MEMS業(yè)務(wù)板塊的核心工廠之一。2020年9月，賽萊克斯8英寸MEMS國(guó)際代工項(xiàng)目建成通線，在技術(shù)跨國(guó)轉(zhuǎn)移遭遇瑞典戰(zhàn)略產(chǎn)品檢驗(yàn)局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products，簡(jiǎn)稱為 ISP)干擾的背景下，于2021年6月實(shí)現(xiàn)正式生產(chǎn)，賽微電子同時(shí)在瑞典斯德哥爾摩和中國(guó)北京兩地?fù)碛辛藰I(yè)界先進(jìn)、高質(zhì)量運(yùn)營(yíng)的8英寸MEMS產(chǎn)線，且瑞典及北京MEMS產(chǎn)線均在持續(xù)新建擴(kuò)充產(chǎn)能。從定位上看，北京MEMS產(chǎn)線更是可以提供標(biāo)準(zhǔn)化的規(guī)模產(chǎn)能，在積累共性關(guān)鍵工藝制造技術(shù)的基礎(chǔ)上建設(shè)世界級(jí)MEMS代工服務(wù)平臺(tái)，有利于賽微電子進(jìn)一步拓展全球尤其是亞洲市場(chǎng)，更好地為下游客戶服務(wù)，同時(shí)繼續(xù)擴(kuò)大公司MEMS業(yè)務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，繼續(xù)保持在MEMS純代工領(lǐng)域的全球領(lǐng)先地位。

　　近年來，全球傳感器市場(chǎng)一直保持快速增長(zhǎng)，在MEMS傳感器應(yīng)用前景良好和國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程提速背景下，賽微電子以半導(dǎo)體業(yè)務(wù)為核心，面向物聯(lián)網(wǎng)與人工智能時(shí)代，一方面重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，一方面積極布局GaN材料與器件業(yè)務(wù)，致力于成為一家立足本土、國(guó)際化發(fā)展的知名半導(dǎo)體科技企業(yè)集團(tuán)。