近日，由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室、中國電子學(xué)會傳感與微系統(tǒng)技術(shù)分會主辦，北京賽微電子股份有限公司協(xié)辦，廣東南海半導(dǎo)體投資有限公司、上海龍媒商務(wù)咨詢有限公司承辦的“2022(十四屆)傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國際研討會(暨成果展)”在廣東省佛山市召開。本次論壇邀請了傳感器與MEMS領(lǐng)域的學(xué)術(shù)界專家學(xué)者、傳感器與MEMS領(lǐng)域的龍頭企業(yè)以及高科技初創(chuàng)企業(yè)代表，為學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界搭建一座信息互換、探討合作的交流平臺。

　　賽微電子董事長楊云春先生在會上發(fā)表了《全球化布局的MEMS先進代工龍頭》的主題演講，介紹了公司在MEMS領(lǐng)域的發(fā)展經(jīng)驗。在他看來，與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體趨勢一致，MEMS行業(yè)市場既有機遇也有挑戰(zhàn)，其中的機遇就包括科創(chuàng)板機遇、新基建機遇、國家扶持機遇。知名半導(dǎo)體分析機構(gòu)Yole預(yù)測，全球 MEMS行業(yè)市場規(guī)模到2026年將增長至182億美元。作為全球最大的制造業(yè)國家和半導(dǎo)體消費市場,未來十年也將是中國 MEMS產(chǎn)業(yè)的黃金十年。

　　基于20年的工藝開發(fā)及制造實踐積累，賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems通過對MEMS產(chǎn)品工藝制造技術(shù)進行系統(tǒng)性分析、歸類，將各產(chǎn)品關(guān)鍵制造工藝進行萃取并加以對比分析，進一步得到共性關(guān)鍵工藝。再對這些工藝進行聚焦研發(fā)、IP布署，逐漸建成模塊化的大規(guī)模MEMS工藝制造體系。該等舉措成效顯著：2019-2021年賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems AB連續(xù)三年位居全球MEMS晶圓代工排名第一。本次會議中，賽微電子展出了瑞典Silex(FAB1&2)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：【RF MEMS開關(guān)】RF MEMS 開關(guān)是電子系統(tǒng)最基本的組成部分之一， 電子MEMS開關(guān)是電子系統(tǒng)的革新者，服務(wù)于多個行業(yè)，包括下一代5G移動網(wǎng)絡(luò)，工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場，電池管理，智能家居，電子汽車和醫(yī)療儀器。MEMS開關(guān)是一種低損耗，高功率開關(guān)，僅需幾皮安即可工作，其運行速度比典型的機械開關(guān)快1000倍?！綧EMS諧振器】MEMS諧振器用于產(chǎn)生高穩(wěn)定基準頻率的計時設(shè)備，該基準頻率可以測量時間。這些參考頻率可用于對電子系統(tǒng)進行排序，管理數(shù)據(jù)傳輸，定義射頻頻率并測量經(jīng)過的時間。MEMS振蕩器具有更好的抵抗振動和機械沖擊的彈性，并具有相對于溫度變化的可靠性?！綧EMS硅光子】硅光子技術(shù)是在硅基材料的平面排列中引導(dǎo)光的方法，主要用于創(chuàng)建用于光纖電信的發(fā)送器和接收器。由于能將更多的傳輸信息壓縮到給定的帶寬，給定的占位以及給定的成本，硅光子學(xué)有望徹底改變光通信市場。 【基于MEMS的芯片實驗室】該芯片用于疾病的快速早期檢測。它是第一個提供自動操作的完全集成的分子診斷系統(tǒng)，將臨床樣品制備，核酸提取以及微流體實時聚合酶鏈反應(yīng)(PCR)擴增和檢測功能整合到一個獨立的系統(tǒng)中。它可以同時滿足批處理工作流和按需測試的要求，以最大程度地提高實驗室效率和靈活性，并且該系統(tǒng)目前已在與新冠狀病毒的戰(zhàn)斗中部署?！綧EMS醫(yī)療壓力傳感器】MEMS技術(shù)是推動人體內(nèi)部使用的未來醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵推動力。該樣本顯示了世界上最小的壓力傳感器，該傳感器用于外科導(dǎo)管上以局部測量人心臟小冠狀動脈中的血壓?！綝NA測序芯片】該產(chǎn)品是世界上第一個納米孔DNA測序平臺，具有從口袋大小的設(shè)備到超高通量設(shè)備的獨特擴展能力。該技術(shù)提供了對任何長度的DNA或RNA片段(短或超長)進行測序的能力。目前，這項技術(shù)已在全球100個國家/地區(qū)被人類，植物，動物，微生物或環(huán)境遺傳學(xué)研究人員所使用，并且在醫(yī)療保健或食品安全等應(yīng)用市場中也日漸流行。

　　賽萊克斯北京8英寸MEMS國際代工項目是北京市集成電路產(chǎn)業(yè)重點項目，公司與全球最大的純MEMS代工企業(yè)瑞典Silex Microsystem是兄弟公司，依托于瑞典賽萊克斯20余年的技術(shù)積淀和MEMS量產(chǎn)經(jīng)驗，由國家專家牽頭組織工藝技術(shù)開發(fā)，廣泛吸納來自全球范圍內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端人才，共同致力于MEMS國際代工線建設(shè)，加快國產(chǎn)MEMS傳感器產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進程，推動中國MEMS技術(shù)發(fā)展和進步。本次會議中，賽微電子展出了賽萊克斯北京(FAB3)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：【濾波器】BAW濾波器，指標達到商業(yè)使用水平，其帶內(nèi)最低插損已達到1.5dB以下，帶外抑制超過30dB。插損值越小意味著信號的損耗越小，可以減小設(shè)備的能量消耗，同時提高信號的接收靈敏度并增加設(shè)備通信距離;帶外抑制越大則意味著對干擾信號的過濾能力越強，過濾后的信號越純凈，產(chǎn)品的用戶體驗越好。【麥克風(fēng)產(chǎn)品】小尺寸振膜在下的硅麥克風(fēng)產(chǎn)品，以其特殊的結(jié)構(gòu)可以有效提升硅麥耐強聲壓和防塵效果，同時該結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品信噪比>62 dB，頻響曲線低頻平坦，在同尺寸硅麥中性能較為突出?！炯铀俣扔嫛咳S加速度計具有超低功耗、高靈敏度、抗應(yīng)力性能及零漂更強更穩(wěn)定的優(yōu)異特點, 該產(chǎn)品可以提供mg級的超高分辨率，在正常行走和跑步都可以達到95%的計步精度，可廣泛應(yīng)用于穿戴設(shè)備，平板，游戲手柄，遙控器等多種場景?！練怏w傳感器】基于MEMS工藝制造氣體傳感芯片，采用懸膜式結(jié)構(gòu), 并集成了微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測氣敏材料的電阻變化。該氣體傳感芯片以其具備功耗低(~30 mW)、可靠性高(Pt 材料)、高靈敏及長壽命(>10 Years@1.5V)等優(yōu)勢，可廣泛應(yīng)用于家用環(huán)境監(jiān)測、室內(nèi)新風(fēng)系統(tǒng)、智能家電產(chǎn)品、車內(nèi)環(huán)境感知等領(lǐng)域?！綧EMS 微振鏡(電磁驅(qū)動)】MEMS 微振鏡，該產(chǎn)品用于電動車激光雷達2D掃描，已通過車載產(chǎn)品驅(qū)動測試以及可靠性驗證。通過實現(xiàn)離子注入，coil plating，深硅刻蝕形成suspension cantilever，臨時鍵合與解鍵合等工藝，制造了電磁驅(qū)動的微振鏡。該振鏡可實現(xiàn)快軸，慢軸的2D scanning 形成+/- 12 deg的電磁驅(qū)動。該產(chǎn)品現(xiàn)階段良率 >75%?！径驕y序】通過Silex integration 獨有的方式，可進行Si substrate，Quartz wafer，Glass wafer兼容。此產(chǎn)品為二代基因測序芯片，整張wafer布滿了1-2 um的微坑結(jié)構(gòu)。經(jīng)過后續(xù)的親水疏水DNA功能團修飾，以及有膠鍵合的微流道玻璃substrate，形成DNA，蛋白質(zhì)，核酸分子等檢測。該產(chǎn)品AOI良率>98.6%.【CMOS wafer 再加工能力】Silex 對于工藝光刻技術(shù)，介質(zhì)層刻蝕技術(shù)，深硅刻蝕等技術(shù)的不斷深耕，可對成熟 .18 制成的IC芯片進行后續(xù)加工。其中包括1.2 um 開口的介質(zhì)刻蝕(Oxide/FSG/BPSG/SiN)，深寬比 >8：1。并進行< 1 um 的開口進行深硅刻蝕，深寬比> 28：1. 該工藝能力現(xiàn)階段助力于光通信領(lǐng)域，基因測序領(lǐng)域等。

　　2016年，賽微電子以7.5億元人民幣的價格完成對Silex的控股收購后進行了良好的整合，Silex成為賽微電子全資子公司，同時也是賽微電子MEMS業(yè)務(wù)板塊的核心工廠之一。2020年9月，賽萊克斯8英寸MEMS國際代工項目建成通線，在技術(shù)跨國轉(zhuǎn)移遭遇瑞典戰(zhàn)略產(chǎn)品檢驗局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products，簡稱為 ISP)干擾的背景下，于2021年6月實現(xiàn)正式生產(chǎn)，賽微電子同時在瑞典斯德哥爾摩和中國北京兩地擁有了業(yè)界先進、高質(zhì)量運營的8英寸MEMS產(chǎn)線，且瑞典及北京MEMS產(chǎn)線均在持續(xù)新建擴充產(chǎn)能。從定位上看，北京MEMS產(chǎn)線更是可以提供標準化的規(guī)模產(chǎn)能，在積累共性關(guān)鍵工藝制造技術(shù)的基礎(chǔ)上建設(shè)世界級MEMS代工服務(wù)平臺，有利于賽微電子進一步拓展全球尤其是亞洲市場，更好地為下游客戶服務(wù)，同時繼續(xù)擴大公司MEMS業(yè)務(wù)的競爭優(yōu)勢，繼續(xù)保持在MEMS純代工領(lǐng)域的全球領(lǐng)先地位。近年來，全球傳感器市場一直保持快速增長，在MEMS傳感器應(yīng)用前景良好和國產(chǎn)化進程提速背景下，賽微電子同時在境內(nèi)外布局中試線及量產(chǎn)線，以同時滿足境內(nèi)外客戶的不同需求，致力于形成可支持“內(nèi)循環(huán)”、兼顧“雙循環(huán)”的代工服務(wù)體系，與此同時，公司正在打造先進的晶圓級封裝測試能力，致力于為客戶提供從工藝開發(fā)、晶圓制造到封裝測試的一站式系統(tǒng)化高端制造服務(wù)，努力發(fā)展成一家國際化經(jīng)營的知名半導(dǎo)體制造領(lǐng)軍企業(yè)。