近日，由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)電子學(xué)會(huì)傳感與微系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主辦，北京賽微電子股份有限公司協(xié)辦，廣東南海半導(dǎo)體投資有限公司、上海龍媒商務(wù)咨詢有限公司承辦的“2022(十四屆)傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國(guó)際研討會(huì)(暨成果展)”在廣東省佛山市召開。本次論壇邀請(qǐng)了傳感器與MEMS領(lǐng)域的學(xué)術(shù)界專家學(xué)者、傳感器與MEMS領(lǐng)域的龍頭企業(yè)以及高科技初創(chuàng)企業(yè)代表，為學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界搭建一座信息互換、探討合作的交流平臺(tái)。

　　賽微電子董事長(zhǎng)楊云春先生在會(huì)上發(fā)表了《全球化布局的MEMS先進(jìn)代工龍頭》的主題演講，介紹了公司在MEMS領(lǐng)域的發(fā)展經(jīng)驗(yàn)。在他看來，與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體趨勢(shì)一致，MEMS行業(yè)市場(chǎng)既有機(jī)遇也有挑戰(zhàn)，其中的機(jī)遇就包括科創(chuàng)板機(jī)遇、新基建機(jī)遇、國(guó)家扶持機(jī)遇。知名半導(dǎo)體分析機(jī)構(gòu)Yole預(yù)測(cè)，全球 MEMS行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模到2026年將增長(zhǎng)至182億美元。作為全球最大的制造業(yè)國(guó)家和半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng),未來十年也將是中國(guó) MEMS產(chǎn)業(yè)的黃金十年。

　　基于20年的工藝開發(fā)及制造實(shí)踐積累，賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems通過對(duì)MEMS產(chǎn)品工藝制造技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)性分析、歸類，將各產(chǎn)品關(guān)鍵制造工藝進(jìn)行萃取并加以對(duì)比分析，進(jìn)一步得到共性關(guān)鍵工藝。再對(duì)這些工藝進(jìn)行聚焦研發(fā)、IP布署，逐漸建成模塊化的大規(guī)模MEMS工藝制造體系。該等舉措成效顯著：2019-2021年賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems AB連續(xù)三年位居全球MEMS晶圓代工排名第一。本次會(huì)議中，賽微電子展出了瑞典Silex(FAB1&2)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：【RF MEMS開關(guān)】RF MEMS 開關(guān)是電子系統(tǒng)最基本的組成部分之一， 電子MEMS開關(guān)是電子系統(tǒng)的革新者，服務(wù)于多個(gè)行業(yè)，包括下一代5G移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)，工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)，電池管理，智能家居，電子汽車和醫(yī)療儀器。MEMS開關(guān)是一種低損耗，高功率開關(guān)，僅需幾皮安即可工作，其運(yùn)行速度比典型的機(jī)械開關(guān)快1000倍?！綧EMS諧振器】MEMS諧振器用于產(chǎn)生高穩(wěn)定基準(zhǔn)頻率的計(jì)時(shí)設(shè)備，該基準(zhǔn)頻率可以測(cè)量時(shí)間。這些參考頻率可用于對(duì)電子系統(tǒng)進(jìn)行排序，管理數(shù)據(jù)傳輸，定義射頻頻率并測(cè)量經(jīng)過的時(shí)間。MEMS振蕩器具有更好的抵抗振動(dòng)和機(jī)械沖擊的彈性，并具有相對(duì)于溫度變化的可靠性?！綧EMS硅光子】硅光子技術(shù)是在硅基材料的平面排列中引導(dǎo)光的方法，主要用于創(chuàng)建用于光纖電信的發(fā)送器和接收器。由于能將更多的傳輸信息壓縮到給定的帶寬，給定的占位以及給定的成本，硅光子學(xué)有望徹底改變光通信市場(chǎng)。 【基于MEMS的芯片實(shí)驗(yàn)室】該芯片用于疾病的快速早期檢測(cè)。它是第一個(gè)提供自動(dòng)操作的完全集成的分子診斷系統(tǒng)，將臨床樣品制備，核酸提取以及微流體實(shí)時(shí)聚合酶鏈反應(yīng)(PCR)擴(kuò)增和檢測(cè)功能整合到一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)中。它可以同時(shí)滿足批處理工作流和按需測(cè)試的要求，以最大程度地提高實(shí)驗(yàn)室效率和靈活性，并且該系統(tǒng)目前已在與新冠狀病毒的戰(zhàn)斗中部署?！綧EMS醫(yī)療壓力傳感器】MEMS技術(shù)是推動(dòng)人體內(nèi)部使用的未來醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵推動(dòng)力。該樣本顯示了世界上最小的壓力傳感器，該傳感器用于外科導(dǎo)管上以局部測(cè)量人心臟小冠狀動(dòng)脈中的血壓?！綝NA測(cè)序芯片】該產(chǎn)品是世界上第一個(gè)納米孔DNA測(cè)序平臺(tái)，具有從口袋大小的設(shè)備到超高通量設(shè)備的獨(dú)特?cái)U(kuò)展能力。該技術(shù)提供了對(duì)任何長(zhǎng)度的DNA或RNA片段(短或超長(zhǎng))進(jìn)行測(cè)序的能力。目前，這項(xiàng)技術(shù)已在全球100個(gè)國(guó)家/地區(qū)被人類，植物，動(dòng)物，微生物或環(huán)境遺傳學(xué)研究人員所使用，并且在醫(yī)療保健或食品安全等應(yīng)用市場(chǎng)中也日漸流行。

　　賽萊克斯北京8英寸MEMS國(guó)際代工項(xiàng)目是北京市集成電路產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)項(xiàng)目，公司與全球最大的純MEMS代工企業(yè)瑞典Silex Microsystem是兄弟公司，依托于瑞典賽萊克斯20余年的技術(shù)積淀和MEMS量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，由國(guó)家專家牽頭組織工藝技術(shù)開發(fā)，廣泛吸納來自全球范圍內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端人才，共同致力于MEMS國(guó)際代工線建設(shè)，加快國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，推動(dòng)中國(guó)MEMS技術(shù)發(fā)展和進(jìn)步。本次會(huì)議中，賽微電子展出了賽萊克斯北京(FAB3)的幾款代表性產(chǎn)品，包括：【濾波器】BAW濾波器，指標(biāo)達(dá)到商業(yè)使用水平，其帶內(nèi)最低插損已達(dá)到1.5dB以下，帶外抑制超過30dB。插損值越小意味著信號(hào)的損耗越小，可以減小設(shè)備的能量消耗，同時(shí)提高信號(hào)的接收靈敏度并增加設(shè)備通信距離;帶外抑制越大則意味著對(duì)干擾信號(hào)的過濾能力越強(qiáng)，過濾后的信號(hào)越純凈，產(chǎn)品的用戶體驗(yàn)越好?！钧溈孙L(fēng)產(chǎn)品】小尺寸振膜在下的硅麥克風(fēng)產(chǎn)品，以其特殊的結(jié)構(gòu)可以有效提升硅麥耐強(qiáng)聲壓和防塵效果，同時(shí)該結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品信噪比>62 dB，頻響曲線低頻平坦，在同尺寸硅麥中性能較為突出?！炯铀俣扔?jì)】三軸加速度計(jì)具有超低功耗、高靈敏度、抗應(yīng)力性能及零漂更強(qiáng)更穩(wěn)定的優(yōu)異特點(diǎn), 該產(chǎn)品可以提供mg級(jí)的超高分辨率，在正常行走和跑步都可以達(dá)到95%的計(jì)步精度，可廣泛應(yīng)用于穿戴設(shè)備，平板，游戲手柄，遙控器等多種場(chǎng)景?！練怏w傳感器】基于MEMS工藝制造氣體傳感芯片，采用懸膜式結(jié)構(gòu), 并集成了微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測(cè)氣敏材料的電阻變化。該氣體傳感芯片以其具備功耗低(~30 mW)、可靠性高(Pt 材料)、高靈敏及長(zhǎng)壽命(>10 Years@1.5V)等優(yōu)勢(shì)，可廣泛應(yīng)用于家用環(huán)境監(jiān)測(cè)、室內(nèi)新風(fēng)系統(tǒng)、智能家電產(chǎn)品、車內(nèi)環(huán)境感知等領(lǐng)域?！綧EMS 微振鏡(電磁驅(qū)動(dòng))】MEMS 微振鏡，該產(chǎn)品用于電動(dòng)車激光雷達(dá)2D掃描，已通過車載產(chǎn)品驅(qū)動(dòng)測(cè)試以及可靠性驗(yàn)證。通過實(shí)現(xiàn)離子注入，coil plating，深硅刻蝕形成suspension cantilever，臨時(shí)鍵合與解鍵合等工藝，制造了電磁驅(qū)動(dòng)的微振鏡。該振鏡可實(shí)現(xiàn)快軸，慢軸的2D scanning 形成+/- 12 deg的電磁驅(qū)動(dòng)。該產(chǎn)品現(xiàn)階段良率 >75%?！径驕y(cè)序】通過Silex integration 獨(dú)有的方式，可進(jìn)行Si substrate，Quartz wafer，Glass wafer兼容。此產(chǎn)品為二代基因測(cè)序芯片，整張wafer布滿了1-2 um的微坑結(jié)構(gòu)。經(jīng)過后續(xù)的親水疏水DNA功能團(tuán)修飾，以及有膠鍵合的微流道玻璃substrate，形成DNA，蛋白質(zhì)，核酸分子等檢測(cè)。該產(chǎn)品AOI良率>98.6%.【CMOS wafer 再加工能力】Silex 對(duì)于工藝光刻技術(shù)，介質(zhì)層刻蝕技術(shù)，深硅刻蝕等技術(shù)的不斷深耕，可對(duì)成熟 .18 制成的IC芯片進(jìn)行后續(xù)加工。其中包括1.2 um 開口的介質(zhì)刻蝕(Oxide/FSG/BPSG/SiN)，深寬比 >8：1。并進(jìn)行< 1 um 的開口進(jìn)行深硅刻蝕，深寬比> 28：1. 該工藝能力現(xiàn)階段助力于光通信領(lǐng)域，基因測(cè)序領(lǐng)域等。

　　2016年，賽微電子以7.5億元人民幣的價(jià)格完成對(duì)Silex的控股收購后進(jìn)行了良好的整合，Silex成為賽微電子全資子公司，同時(shí)也是賽微電子MEMS業(yè)務(wù)板塊的核心工廠之一。2020年9月，賽萊克斯8英寸MEMS國(guó)際代工項(xiàng)目建成通線，在技術(shù)跨國(guó)轉(zhuǎn)移遭遇瑞典戰(zhàn)略產(chǎn)品檢驗(yàn)局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products，簡(jiǎn)稱為 ISP)干擾的背景下，于2021年6月實(shí)現(xiàn)正式生產(chǎn)，賽微電子同時(shí)在瑞典斯德哥爾摩和中國(guó)北京兩地?fù)碛辛藰I(yè)界先進(jìn)、高質(zhì)量運(yùn)營(yíng)的8英寸MEMS產(chǎn)線，且瑞典及北京MEMS產(chǎn)線均在持續(xù)新建擴(kuò)充產(chǎn)能。從定位上看，北京MEMS產(chǎn)線更是可以提供標(biāo)準(zhǔn)化的規(guī)模產(chǎn)能，在積累共性關(guān)鍵工藝制造技術(shù)的基礎(chǔ)上建設(shè)世界級(jí)MEMS代工服務(wù)平臺(tái)，有利于賽微電子進(jìn)一步拓展全球尤其是亞洲市場(chǎng)，更好地為下游客戶服務(wù)，同時(shí)繼續(xù)擴(kuò)大公司MEMS業(yè)務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，繼續(xù)保持在MEMS純代工領(lǐng)域的全球領(lǐng)先地位。近年來，全球傳感器市場(chǎng)一直保持快速增長(zhǎng)，在MEMS傳感器應(yīng)用前景良好和國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程提速背景下，賽微電子同時(shí)在境內(nèi)外布局中試線及量產(chǎn)線，以同時(shí)滿足境內(nèi)外客戶的不同需求，致力于形成可支持“內(nèi)循環(huán)”、兼顧“雙循環(huán)”的代工服務(wù)體系，與此同時(shí)，公司正在打造先進(jìn)的晶圓級(jí)封裝測(cè)試能力，致力于為客戶提供從工藝開發(fā)、晶圓制造到封裝測(cè)試的一站式系統(tǒng)化高端制造服務(wù)，努力發(fā)展成一家國(guó)際化經(jīng)營(yíng)的知名半導(dǎo)體制造領(lǐng)軍企業(yè)。