2022年6月12日，北京賽微電子股份有限公司與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金共同投資的賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(簡(jiǎn)稱“賽萊克斯北京”)“8英寸MEMS國(guó)際代工線”(北京FAB3)代工制造的某款BAW(Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲波濾波器，包括BAWSMR-固體安裝諧振器和FBAR-薄膜體聲波諧振器)通過(guò)了客戶驗(yàn)證。

　　FAB3某款BAW濾波器8英寸晶圓工藝研發(fā)團(tuán)隊(duì)

　　經(jīng)過(guò)對(duì)該批次BAW濾波器進(jìn)行頻段抑制、帶內(nèi)插損、電壓駐波比等性能測(cè)試及高加速溫濕度應(yīng)力、高低溫貯存壽命、機(jī)械及跌落沖擊等可靠性驗(yàn)證，產(chǎn)自北京FAB3濾波器的性能、良率均達(dá)到或優(yōu)于設(shè)計(jì)指標(biāo)要求，與國(guó)際射頻巨頭廠商的同類別產(chǎn)品指標(biāo)相當(dāng)。該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，北京FAB3啟動(dòng)首批BAW濾波器8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。

　　該客戶是一家本土射頻前端MEMS濾波器芯片設(shè)計(jì)公司，核心團(tuán)隊(duì)具備豐富經(jīng)驗(yàn)，擁有核心知識(shí)產(chǎn)權(quán)，致力于實(shí)現(xiàn)BAW濾波器的國(guó)產(chǎn)替代及廣泛應(yīng)用。

　　隨著信息技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，高速化信息處理、高頻化信號(hào)傳輸成為數(shù)字電路發(fā)展的新特征，伴隨著不斷增加的信息量及信息傳輸效率需求，終端設(shè)備也朝著高頻化迅速過(guò)渡。在高頻率信號(hào)狀態(tài)下，因材料的趨膚效應(yīng)、電介質(zhì)極化等因素，絕緣材料的電隔離度大大下降，高頻通信終端里各射頻、微波單元間的信號(hào)傳輸路徑、多傳輸線路的交錯(cuò)等造成了嚴(yán)重的電磁干擾、噪音等問(wèn)題。傳統(tǒng)工藝制造的射頻微波器件難以在高頻通信中得到有效地應(yīng)用 (主要是難以解決高隔離度要求與小尺寸和高集成度的矛盾)，而采用MEMS制造工藝能夠解決傳統(tǒng)工藝的不足，通過(guò)特殊的精細(xì)結(jié)構(gòu)來(lái)有效控制電磁波信號(hào)的各種傳輸損耗，具有高頻狀態(tài)低損耗、低噪音、散熱能力良好的特點(diǎn)，使得以新MEMS工藝制造的高頻通信器件能夠廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星接收、基站、手機(jī)、導(dǎo)航、運(yùn)輸、倉(cāng)儲(chǔ)等各類領(lǐng)域。

晶圓級(jí)封裝FABR濾波器內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖

　　射頻前端包括濾波器、PA、開(kāi)關(guān)、LNA等細(xì)分市場(chǎng)，Yole Development預(yù)計(jì)2025年可達(dá)250億美元規(guī)模，目前絕大部分前端市場(chǎng)被Skyworks、Qorvo、Broadcom(Avago)、村田MURATA及RF360(Qualcomm旗下)等國(guó)際射頻巨頭所壟斷，國(guó)產(chǎn)器件自給率較低。

　　國(guó)際射頻巨頭廠商

　　其中，濾波器是射頻系統(tǒng)中最重要的元器件，性能優(yōu)劣直接影響各頻段信號(hào)通信質(zhì)量，是射頻前端芯片中價(jià)值量最高的細(xì)分領(lǐng)域。隨著通信技術(shù)的發(fā)展，通信頻段數(shù)量從2G 時(shí)代的個(gè)位數(shù)增長(zhǎng)至5G 時(shí)代的約70-100個(gè)。手機(jī)濾波器多采用聲波濾波技術(shù)，而濾波器按照聲波傳遞類型，分為SAW(Surface Acoustic Wave,聲表面波濾波器)和BAW(Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲波濾波器，包括BAWSMR和FBAR)兩類細(xì)分市場(chǎng)，其中SAW 工藝更加類似傳統(tǒng)集成電路，而BAW 工藝則需要MEMS 聲學(xué)結(jié)構(gòu)以及壓電材料的長(zhǎng)期積累，所需工藝制造步驟數(shù)倍于SAW，技術(shù)難度較高且單價(jià)更高。

　　2020年，全球?yàn)V波器市場(chǎng)規(guī)模約為66.25億美元，其中SAW濾波器市場(chǎng)規(guī)模約為38.57億美元，F(xiàn)BAR(薄膜體聲波諧振器)濾波器市場(chǎng)規(guī)模約為12.08億美元，BAWSMR(固體安裝諧振器)濾波器市場(chǎng)規(guī)模約為6.97億美元。在全球市場(chǎng)，濾波器行業(yè)市場(chǎng)集中度較高，日美系廠商憑借先進(jìn)技術(shù)形成壟斷和壁壘，BAW 濾波器龍頭公司Broadcom(Avago)的市場(chǎng)占有率更是高達(dá)90%。在中國(guó)市場(chǎng)，濾波器國(guó)產(chǎn)化整體進(jìn)程仍處于初步階段，國(guó)內(nèi)行業(yè)整體技術(shù)水平與國(guó)外領(lǐng)先廠商相比仍存在較大差距，國(guó)內(nèi)濾波器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展尚無(wú)法滿足國(guó)內(nèi)需求，大量仍依賴進(jìn)口。

　　在高頻通信時(shí)代，因考慮到供應(yīng)鏈安全，我國(guó)下游終端客戶對(duì)濾波器的國(guó)產(chǎn)替代需求愈發(fā)迫切，越來(lái)越多的本土廠商在努力積累技術(shù)和工藝、嘗試打破當(dāng)前由日美系廠商壟斷的市場(chǎng)格局。

　　賽微電子以半導(dǎo)體業(yè)務(wù)為核心，面向高頻通信背景下的物聯(lián)網(wǎng)與人工智能時(shí)代，一方面重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開(kāi)發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，一方面積極布局GaN材料與器件業(yè)務(wù)，致力于成為一家立足本土、國(guó)際化發(fā)展的知名半導(dǎo)體科技企業(yè)集團(tuán)。

　　賽萊克斯北京是由公司全資子公司北京賽萊克斯國(guó)際科技有限公司與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司共同投資的8英寸MEMS國(guó)際代工線項(xiàng)目公司，主要從事MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，即微電子機(jī)械系統(tǒng)，簡(jiǎn)稱為微機(jī)電系統(tǒng))的生產(chǎn)代工業(yè)務(wù)。

　　北京8英寸MEMS國(guó)際代工線

　　瑞典戰(zhàn)略產(chǎn)品檢驗(yàn)局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products，簡(jiǎn)稱為 ISP)于2021年10月否決了公司全資子公司Silex Microsystems AB(簡(jiǎn)稱“瑞典 Silex”)于 2020年11月向瑞典 ISP 提交的其向北京FAB3提供技術(shù)服務(wù)與支持的許可申請(qǐng)，瑞典Silex與北京FAB3于2018年簽署的《技術(shù)服務(wù)協(xié)議》及《許可協(xié)議》被迫中止。

　　瑞典戰(zhàn)略產(chǎn)品檢驗(yàn)局

　　在此背景下，北京FAB3繼續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎(chǔ)工藝，積極探索各類MEMS器件的生產(chǎn)訣竅，努力為通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費(fèi)電子等各領(lǐng)域客戶，尤其是中國(guó)本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開(kāi)發(fā)及晶圓制造服務(wù)，積極推動(dòng)公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力，加速國(guó)產(chǎn)替代。2019-2021年，賽微電子研發(fā)費(fèi)用分別達(dá)1.10億元、1.95億元、2.66億元，占營(yíng)業(yè)收入的比重分別為15.39%、25.54%、28.69%。

　　北京FAB3潔凈間黃光區(qū)一角

　　本次BAW濾波器的驗(yàn)證通過(guò)和啟動(dòng)試產(chǎn)，標(biāo)志著北京FAB3在MEMS高頻通信器件領(lǐng)域的專業(yè)制造能力達(dá)到一個(gè)新的里程碑，公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)努力奮斗，持續(xù)改進(jìn)工藝、提高良率，盡快實(shí)現(xiàn)BAW濾波器的規(guī)模量產(chǎn)并持續(xù)豐富生產(chǎn)制造序列。

　　賽微電子歡迎與全球尤其是中國(guó)本土各領(lǐng)域MEMS設(shè)計(jì)廠商開(kāi)展廣泛合作，為中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)的進(jìn)一步發(fā)展貢獻(xiàn)一份自己的力量。