近日，中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所聯(lián)合傳感技術(shù)國家重點實驗室、中國電子學(xué)會傳感與微系統(tǒng)技術(shù)分會、上海微技術(shù)工業(yè)研究院主辦，北京賽微電子股份有限公司協(xié)辦，上海新微科技集團有限公司、上海硅巷/新微創(chuàng)邑、上海龍媒商務(wù)咨詢有限公司承辦的“第十六屆（2024年）傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國際研討會（暨成果展）”在上海市召開。

MEMS國際會議以“研產(chǎn)融合 創(chuàng)新應(yīng)用”為宗旨，為產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界搭建一座信息互換、探討合作的交流平臺，旨在加強國內(nèi)外傳感器與MEMS設(shè)計和制造領(lǐng)域技術(shù)人員的溝通交流，促進產(chǎn)、學(xué)、研相結(jié)合。上海市長寧區(qū)副區(qū)長趙永尊、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所所長謝曉明、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所教授李昕欣致開幕詞，來自國內(nèi)外的四十多位專家和企業(yè)精英發(fā)表演講，就業(yè)內(nèi)最前沿的傳感器與MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈先進的技術(shù)應(yīng)用和中國MEMS產(chǎn)業(yè)化現(xiàn)狀及發(fā)展機遇共同分享探討交流。同時，此次會議舉行了“上海硅巷”高質(zhì)量孵化器運營主體發(fā)布儀式。

賽微電子董事長、總經(jīng)理楊云春博士在會上發(fā)表了《全球化布局的MEMS先進代工龍頭》的主題演講，在萬物互聯(lián)時代背景下，AI、大數(shù)據(jù)、5G通信、無人駕駛為代表的高新技術(shù)在國民經(jīng)濟及日常生活中扮演著越來越重要的角色，其中種類眾多的MEMS器件是構(gòu)成以上架構(gòu)、系統(tǒng)的重要組成部分。賽微電子在粵港澳大灣區(qū)、懷柔科學(xué)城籌建智能傳感MEMS驗證平臺，既響應(yīng)了相關(guān)企業(yè)的迫切需要、有助于形成產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)，又能通過合作提升創(chuàng)新能力、進一步完善公司自身的業(yè)務(wù)版圖和全球化布局。

本次會議中，賽微電子還展示了旗下子公司制造的MEMS慣性測量單元、加速度計、硅光子、原子鐘、生物傳感器、氣體傳感器等多款晶圓產(chǎn)品。

【慣性測量單元】

MEMS-IMU具有體積小、重量輕、能耗低等特點，以微小形態(tài)采集運動載體的加速度與角速度等慣性信息，可實時輸出高精度的三維位置、速度、姿態(tài)等信息，并用于姿態(tài)平衡控制、導(dǎo)航定位、動作執(zhí)行等環(huán)節(jié)。

【加速度計】

MEMS加速度計是測量物體加速度信息的元器件，由相應(yīng)的MEMS芯片、ASIC芯片及懸掛在彈簧上的慣性質(zhì)量封裝組成，已經(jīng)廣泛用于導(dǎo)航定位、姿態(tài)感知、狀態(tài)監(jiān)測、平臺穩(wěn)定等領(lǐng)域。

【硅光子】

硅光子技術(shù)將光子器件和電子器件集成在同一襯底上，降低通過光纖傳輸數(shù)據(jù)的成本，應(yīng)用領(lǐng)域包括通信領(lǐng)域的調(diào)制器、探測器、波分復(fù)用器、解復(fù)用器、偏振器、耦合器以及數(shù)字顯示、光學(xué)傳感等。

【芯片級原子鐘】

芯片級原子鐘是使用MEMS技術(shù)制造的緊湊型低功耗原子鐘。當(dāng)全球定位系統(tǒng)不可用時，可以提供更好的位置和戰(zhàn)場態(tài)勢感知。在天文、航海和宇宙航行領(lǐng)域，原子鐘也發(fā)揮著重要作用。

【生物傳感器】

生物傳感器是測量生物成分的傳感器，附著在芯片上的生物分子與待檢測的分析物發(fā)生作用，引起傳感器中的電流變化。MEMS技術(shù)可以實現(xiàn)生物芯片的高靈敏度、高準(zhǔn)確性、微創(chuàng)應(yīng)用及低成本、大批量生產(chǎn)。

【氣體傳感器】

基于MEMS工藝制造氣體傳感器芯片，采用懸膜式結(jié)構(gòu), 集成了微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測氣敏材料的電阻變化?？蓮V泛應(yīng)用于家用環(huán)境監(jiān)測、室內(nèi)新風(fēng)系統(tǒng)、智能家電產(chǎn)品、車內(nèi)環(huán)境感知等領(lǐng)域。

賽微電子是全球領(lǐng)先、國際化運營的高端集成電路芯片晶圓制造廠商，也是國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和掌握核心半導(dǎo)體制造技術(shù)的特色工藝專業(yè)芯片晶圓制造商。公司在國內(nèi)外擁有多座中試平臺及量產(chǎn)工廠，業(yè)務(wù)遍及全球，服務(wù)客戶包括DNA/RNA測序、光刻機、硅光子、AI計算、ICT、紅外熱成像、計算機網(wǎng)絡(luò)及系統(tǒng)、元宇宙、新型醫(yī)療設(shè)備廠商以及各細分行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，涉及產(chǎn)品范圍覆蓋了通訊、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等諸多應(yīng)用領(lǐng)域。公司同時正在打造先進的晶圓級封裝測試能力，致力于為客戶提供從工藝開發(fā)、晶圓制造到封裝測試的系統(tǒng)化高端制造服務(wù)，努力發(fā)展成一家立足本土、國際化經(jīng)營的知名半導(dǎo)體制造領(lǐng)軍企業(yè)。